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SUME BW510是用于研發(fā)或小批量生產(chǎn)的半自動晶圓鍵合設(shè)備，具備良好的壓力與溫度均勻性較為特的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)保證鍵合的壓盤相對水平，優(yōu)良的真空系統(tǒng)以及腔體設(shè)計(jì)，方便簡潔的菜單編輯和設(shè)備狀態(tài)監(jiān)控以及安全保護(hù)功能。SUMEBW510可兼容大部分品圓尺寸，開放式腔體設(shè)計(jì)便于維護(hù)保養(yǎng)，以及不同規(guī)格轉(zhuǎn)換，占地面積小，功能齊全。半自動晶圓鍵合機(jī)